Diagnose an Druckleitungen bei Sensoren
Projektleiter
Prof. Dr. Jörg Himmel
Projektmitarbeiter
Studierende
Mittelgeber
WiKa Alexander Wiegand GmbH & Co
Laufzeit
Jun/02 bis Apr/04
Kurzfassung
Im Rahmen des Projektes werden in Zusammenarbeit mit dem industriellen Partner verschiedene Konzepte zur Wegerfassung der metallischen Membran eines Drucksensors untersucht. In Laborversuchen mit Prototypen konnten auf der Basis sehr kostengünstiger Schaltungskonzepte Wegauflösungen bis deutlich unter 30 nm realisiert werden.
Publikationen / Patente
Himmel, J. u. Ch. Sehestedt: Drucksensor. Offenlegungsschrift beim Deutschen Patentamt Nr. DE 103 09 737.6. Tag der Anmeldung: 07.03.03
Vorträge / Poster / Messen
Himmel, J. u. Ch. Sehestedt: Kostengünstige Erfassung von kleinen Membranwegen bei der Druckmessung. Vortrag im Rahmen des Innovationskolloquiums des RheinAhrCampus in Remagen am 12.11.2002.
Ausstellung eines Prototypen auf der HMI April 2003.