Das µ-Lab ist ein Labor für Lasermikrostrukturierung. Zur Anwendung kommen holographische Belichtungsmethoden z.B. für die Herstellung einfacher diffraktiver Röntgenoptiken. Das Labor beinhaltet eine Aufdampfanlage zur Herstellung dünner Schichten, eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen und ein Rasterkraftmikroskop.

Ausstattung

• Fluor-Eximerlaser (Lambda Physics), 157 nm Wellenlänge
• Aufdampfanlage mit Elektronenstrahlkanone und Vier-Tiegel-System
• reaktive Ionenätzanlage (RIBE) der Firma CCR-GmbH
• Profilhöhenmessgerät Talysurf (Taylor and Hobbson)
• kombiniertes Rasterkraft/DIC-Mikroskop der Firma SIS GmbH

Dienstleistungsangebot

• holographische Entwicklungen
• Herstellung dünner Schichten
• Untersuchung von Proben mit atomarer Auflösung