Nanostrukturierung

Die Herstellung von optischen Komponenten für den weichen Röntgenbereich erfordern Strukturen im sub Mikrometerbereich.

Anwendungen

• Herstellung diffraktiver Optiken für verschiedene Spektralbereiche
• Aufdampfen von Metallfiltern 
• Oberflächenanalyse mittels Rasterkraftmikroskopie (AFM)